特許

J-GLOBAL ID：200903072213032093

オートフオーカス機構

発明者： 佐藤 知男
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-173673
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021318
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】 パターン検査や位置決めセンサ等の光学機器において被対象物に対するオートフォーカスを、簡単な構成によって高い精度をもって達成する。【構成】 フォーカス専用のセンサをなくし、検査を行なうための測定光学系のセンサ1を、フォーカスセンサとして共用して用いる。そして、この測定光学系センサ1において、被対象物3との相対位置変化に伴なう画像信号のコントラストが最大となる位置を、フォーカス基準の原点位置とする。

請求項（抜粋）：

測定光学系センサを有する光学機器において、前記測定光学系センサを、フォーカス用センサとしても用い、このセンサによる被対象物に対しての信号のコントラストが最大となる位置を、フォーカス基準の原点位置とするように構成したことを特徴とするオートフォーカス機構。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/36 ,  G03F 9/02

FI (3件)：

H01L 21/30 311 N ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 D