特許
J-GLOBAL ID：200903072213480711
フォトリソグラフィーにより作られる水晶片をエッチングして個別に分離する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大貫 進介 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-500458
公開番号（公開出願番号）：特表平11-509052
出願日： 1996年04月11日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】フォトリソグラフィーにより作られる水晶片をエッチングして1個ずつに切り離す方法(200)。第1に、水晶ウエハは、金属で両面をメッキされ、次に、フォトレジストで両面をコーティングされる(202)。第2に、フォトレジストは、パターン形成され、現像されて、金属層は、エッチングされて、1個ずつに切り離すブランクと親水晶ウエハとの間で露出される狭い水晶の溝によって、水晶片の周辺部を確定する(204)。第3に、水晶の溝は、平行な原子面に沿ってウエハ内で部分的に選択的にエッチングされて、水晶ウエハと、1個ずつに切り離すブランクとの間の接合を力学的に弱化させ、一方、水晶片の残りの部分の周辺部は、親水晶ウエハを完全に貫通してエッチングされる(206)。第4に、フォトレジスト層が、水晶ウエハから剥離される(208)。最後に、水晶片が、水晶の溝の底に実質的に沿って劈開されて、ウエハから水晶片を1個ずつにに切り離す(210)。
請求項（抜粋）：
フォトリソグラフィーにより作られる水晶片をエッチングして個別に分離する方法であって: 少なくとも1つの金属層およびフォトレジスト層でそれぞれコーティングされた水晶ウエハを用意する段階; 前記フォトレジストおよび前記金属層から所定のパターンを除去し、底部を有する水晶の溝部を露出し、前記溝部は、水晶片の周囲を定め残りの水晶と接続する、段階; 実質的に平行な水晶の原子面に沿って、前記溝部の前記底部をエッチングするが、前記溝部の前記底部は、前記水晶ウエハを貫通してエッチングされない段階; 前記金属層から残りの前記フォトレジスト層を剥離する段階;および 前記溝部の前記底部に実質的に沿って、および水晶の原子面に実質的に整合して劈開し、前記水晶片を前記水晶ウエハから個別に分離する段階; によって構成されることを特徴とする方法。
IPC (5件)：
H03H 3/02
, H01L 21/306
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H03H 9/19
H03H 3/02 C
, H03H 9/19 A
, H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
, H01L 21/306 Z
