特許

J-GLOBAL ID：200903072213552844

遠心式基板乾燥装置

発明者： 石浜 均 ,  野口 隆行 ,  飯塚 奈美子 ,  竹内 一夫 ,  佐藤 一武
出願人/特許権者： 日本タイプライター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343570
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177110
出願日： 1992年12月01日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 基板を直接保持し、回転することで基板の液切り乾燥をする遠心式基板乾燥装置において、ロータの回転時における基板の連れ回りを防止する。【構成】 一対の側板6と、この側板間に架せられ、かつ、複数枚の基板8を等間隔で保持する複数の基板保持部材10と、この一対の側板に対し回動自在とし、これを閉じたときは基板の保持を行い、これを開いたときは基板の取付け取外しの開口部とする可動基板保持部材9とからなるロータ3の可動基板保持部材による開口部と対向した位置に回転防止部材11を設ける。基板が回転すると弦の部分15が回転防止部材と接触しそれ以上の回転を防止する。

請求項（抜粋）：

一対の側板と、この側板間に架せられ、かつ、複数枚の基板を保持する複数の基板保持部材と、前記一対の側板間に架せられ、かつ、この一対の側板に対し回動自在とし、これを閉じたときに前記基板保持部材と基板の保持を行い、これを開いたときは基板の取付け取外しの開口部となる可動基板保持部材とからなるロータを有し、このロータを高速回転軸させる遠心式基板乾燥装置において、基板はその円周の一部に弦の部分を有し、この弦の部分をこのロータに向けた状態でロータ内に挿入すると共に、可動保持部材によるロータの開口部と対向した位置に回転防止部材を設けたことを特徴とする遠心式基板乾燥装置。