特許
J-GLOBAL ID：200903072216638960
電子ビ-ムテスタ及び電子ビ-ムテスタを使用したテスト方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-016730
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226426
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】この発明は、高速のデバイス動作と同期した電位コントラスト像を短時間で取得すると共に、精度良くそのコントラスト像間のマッチングを取る。【構成】デバイス入力装置によりデバイスに信号を入力し、電子ビ-ムテスタにトリガ-信号を入力し、設計デ-タからレイアウトの配線パタ-ンをディスプレイに表示し、デバイス動作中の配線における所定の測定点に照射手段によりビ-ムを照射し、この照射された測定点から放出される二次電子量を検出器により検出し、この検出された二次電子量に対応した前記測定点の電位を図示せぬ演算手段により演算し、この演算手段で得られた電位情報を、前記レイアウトの配線パタ-ンに重畳させて表示する。従って、高速のデバイス動作と同期した電位コントラスト像を短時間で取得できると共に、精度良くそのコントラスト像間のマッチングを取ることができる。
請求項（抜粋）：
デバイスに所定の信号を入力する信号入力手段と、設計デ-タからレイアウトの配線パタ-ンをディスプレイに表示する第1の表示手段と、前記デバイス動作中の配線における任意の測定点に電子ビ-ムを照射する照射手段と、前記電子ビ-ムが照射された測定点から放出される二次電子量を検出する検出手段と、前記検出された二次電子量に対応した前記測定点の電位を演算する演算手段と、前記演算手段で得られた電位情報を、前記レイアウトの配線パタ-ンに重畳させて表示する第2の表示手段と、を具備することを特徴とする電子ビ-ムテスタ。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01R 19/00
, G01R 31/302
, H01J 37/22 502
, H01J 37/22
