特許
J-GLOBAL ID：200903072218840708
力学量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-109258
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304451
出願日： 1995年05月08日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 磁気抵抗素子のような高感度であるが、ノンリニアな磁気センサを磁気センサに使用し、磁界発生源、磁気回路を小型化し、それによってリニアな出力特性を実現しつつ、小型、高感度、高精度な力学量センサを少ない部品点数、少ない工数で得ることを目的とする。【構成】 直接的外力または外力により連動して発生する内力を受けて変位する可動部と、この可動部を保持する固定部と、前記可動部または固定部上に配置された磁界発生源と、この磁界発生源の発する磁界中に配置された磁気センサと、前記磁気センサへ磁界を及ぼすように配置した導電体より成る磁界サーボ電流路または磁界サーボコイルと、前記可動部に外力が加わっても前記磁気センサの出力が変化しないように前記磁界サーボ電流路または磁界サーボコイルに電流を供給する磁界サーボ制御回路を備え、その制御駆動量をもって外力の変換出力とすることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
直接的外力または外力により連動して発生する内力を受けて変位する可動部と、この可動部を保持する固定部と、前記可動部または固定部上に配置された磁界発生源と、この磁界発生源の発する磁界中に配置された磁気センサと、前記磁気センサへ磁界を及ぼすように配置した導電体より成る磁界サーボ電流路または磁界サーボコイルと、前記可動部に外力が加わっても前記磁気センサの出力が変化しないように前記磁界サーボ電流路または磁界サーボコイルに電流を供給する磁界サーボ制御回路とを設け、その制御駆動量をもって外力の変換出力とするように構成したことを特徴とする力学量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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