連続真空蒸着装置及び蒸着方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀田実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-006375
公開番号（公開出願番号）：特開平6-212425
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：

【要約】【目的】蒸着基板幅が変化しても、真空を破って大気に戻し、ルツボを交換する作業をすることなく連続して蒸着を行うことができる連続真空蒸着装置を提供する。【構成】真空中で、電子銃4によりルツボ10から蒸発材料を蒸発又は昇華させ、連続的に供給される蒸着基板2の表面に蒸着膜を形成する連続真空蒸着装置において、ルツボは、その全体幅が蒸着基板の幅より広く、かつ複数の独立な分割ルツボ13からなり、各分割ルツボは可能な限り密接して配置されている。

請求項（抜粋）：

真空中で、電子銃によりルツボから蒸発材料を蒸発又は昇華させ、連続的に供給される蒸着基板の表面に蒸着膜を形成する連続真空蒸着装置において、前記ルツボは、その全体幅が前記蒸着基板の幅より広く、かつ複数の独立な分割ルツボからなり、各分割ルツボは可能な限り密接して配置されている、ことを特徴とする連続真空蒸着装置。

引用特許：

審査官引用 (20件)

特開昭60-059064
特開昭60-059064
特開昭60-059064

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