イオンの除去方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水猛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-016825
公開番号（公開出願番号）：特開平6-206069
出願日： 1993年01月08日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：

【要約】【目的】高純度の超純水を長期間安定に供給することのできるイオン除去システムを提供する。【構成】 ?@ 同種のイオン交換基を有するイオン吸着膜を充填したモジュール2本以上に被処理水を順次通水するイオンの除去法。?A 最後尾以外のいずれかのモジュール通過後の被処理水の水質をモニターし、その水質が所定の範囲外になった時に、最初に被処理水が通過するイオン吸着膜モジュールを取り外し、連結システムの各イオン吸着膜モジュールを順次一つずつ前に移動させ、最後尾に新規のモジュールを設置するイオンの除去方法。【効果】長期間にわたり高純度の超純水を安定して供給するシステムが提供でき、従来の技術の限界を越えた新たな超純水製造プロセスを可能。

請求項（抜粋）：