特許
J-GLOBAL ID：200903072228934808
多成分水溶液の分析方法およびその分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-185409
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029332
出願日： 1994年07月13日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 半導体プロセスや食品加工等で用いられる多成分水溶液の濃度を簡易・迅速に高い精度で求められる分析方法を提供する。【構成】 校正段階にて、既知濃度のk個の成分の標準液の1500nm〜1850nmにおける近赤外スペクトルを組成比を変えてn個測定し、各スペクトルのp個の吸光度値からなるn行p列の応答行列から指定した因子の数mのp行m列の負荷行列と、m行k列の間行列とを求め、推定段階にて、純水を含めた未知濃度のk個の成分よりなる被検液の波長1500nm〜1850nmにおける近赤外スペクトルのp個の吸光度値を求め、その吸光度値と、前記校正段階で求めた負荷行列と間行列とから、行列演算により、前記k個の成分の濃度値を求める。また、校正段階にて、溶液温度を特性項目の1つに加えることにより(k+1個の特性内容)、推定段階にて、k個の濃度値と1個の温度値とを求めることもできる。
請求項（抜粋）：
所望の波長間を反復走査させた単色光を標準液および被検液に透過させてその吸光度を検出し、その検出信号に基づいて、多変量解析における主成分分析法により、多成分水溶液中の各成分の濃度値を求める多成分水溶液の分析方法であって、校正段階にて、既知濃度のk個の成分の標準液の1500nm〜1850nmにおける近赤外スペクトルを成分組成比を変えてn個測定し、各スペクトルのp個の吸光度値からなるn行p列の応答行列から、指定した因子の数mのp行m列の負荷行列とm行k列の間行列とを求め、推定段階にて、純水を含めた未知濃度のk個の成分よりなる被検液の波長1500nm〜1850nmにおける近赤外スペクトルのp個の吸光度値を求め、その吸光度値群と、前記校正段階で求めた負荷行列と間行列とから、行列演算により、前記k個の成分の濃度値を求めることを特徴とする多成分水溶液の分析方法。
引用特許：
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