特許
J-GLOBAL ID：200903072230244100
プローブカード装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-228080
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064387
出願日： 1997年08月25日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 安価なプローブカード装置を得る。【解決手段】 プローブ針2の先端部2aをウエハ電極と接触させウエハテストをするプローブカード装置において、プローブ針2の先端部2aをウエハ電極と異なる結晶格子の型を持つ金属で表面改質部2bを形成する。
請求項（抜粋）：
プローブ針先端をウエハ電極と接触させウエハテストをするプローブカード装置において、上記プローブ針先端は上記ウエハ電極と異なる結晶格子の型を持つ金属で表面改質されていることを特徴とするプローブカード装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
