特許
J-GLOBAL ID：200903072233444967
電子顕微鏡試料支持用マイクログリッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212442
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035432
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 酸化雰囲気での加熱に強い電子顕微鏡試料支持用マイクログリッド提供する。【解決手段】 界面活性剤の存在下においでケイ素アルコキシドを加水分解した際に気-液界面に形成される膜を、電子顕微鏡試料用メッシュにすくい取り、乾燥させて製造された、主成分として二酸化ケイ素を含む電子顕微鏡試料支持用マイクログリッド。
請求項（抜粋）：
主成分として二酸化ケイ素を含むことを特徴とする電子顕微鏡試料支持用マイクログリッド。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J 37/20 A
, H01J 37/20 Z
, G01N 1/28 J
