特許
J-GLOBAL ID：200903072236914328

弾性表面波装置

発明者：
米田 年麿

米田 年麿 について

, 
門田 道雄

門田 道雄 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-249531
公開番号（公開出願番号）：特開平11-074751
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 高価な貴金属を用いることなく安価に構成することができ、かつQが大きく、比抵抗が小さく、従って共振子や帯域フィルタなどに応用した場合に良好な特性を得ることが可能なIDT電極を備えた、ラブ波を利用した弾性表面波装置を得る。【解決手段】 表面波基板1上に、アルミニウム層3c及びタングステン層3dを積層してなる積層金属膜3eによりIDT電極を構成してなる弾性表面波装置1。
請求項（抜粋）：
タングステン層とアルミニウム層とを積層してなる積層金属膜により構成されているインターデジタル電極を有することを特徴とする、弾性表面波装置。
IPC (2件)：
H03H 9/145 ,  H03H 9/25
FI (2件)：
H03H 9/145 C ,  H03H 9/25 C
引用特許：
審査官引用 (6件)
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