特許

J-GLOBAL ID：200903072238419430

プラズマディスプレイパネル

発明者： 佐々木 孝 ,  柴田 将之 ,  原田 秀樹
出願人/特許権者： 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-062119
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273265
出願日： 2003年03月07日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】片側の基板に電極と誘電体層を2層に形成する場合に、下側の誘電体層をプラズマCVD法で形成することにより、下側の誘電体層上に電極を形成する際の下側の誘電体層のウェットエッチャントによる浸食を防止し、さらに、上側の誘電体層形成時の下側の誘電体層への影響をなくす。【解決手段】一方の基板と他方の基板を対向配置し、一方の基板の内側面に下側電極を形成し、その下側電極を第1の誘電体層で覆い、その第1の誘電体層上に上側電極を形成し、その上側電極を第2の誘電体層で覆い、第1と第2の誘電体層の内、少なくとも第1の誘電体層をプラズマCVD法によって形成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一方の基板と他方の基板を対向配置し、一方の基板の内側面に下側電極を形成し、その下側電極を第1の誘電体層で覆い、その第1の誘電体層上に上側電極を形成し、その上側電極を第2の誘電体層で覆い、第1と第2の誘電体層の内、少なくとも第1の誘電体層をプラズマCVD法によって形成してなるプラズマディスプレイパネル。

IPC (2件)：

H01J11/02 ,  H01J9/02

FI (2件)：

H01J11/02 B ,  H01J9/02 F

Fターム (10件)：

5C027AA07 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB13 ,  5C040GC11 ,  5C040GD01 ,  5C040GD02 ,  5C040GD03 ,  5C040GD09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-032974   出願人：ソニー株式会社
• プラズマディスプレイパネル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-104295   出願人：株式会社日立製作所, 富士通株式会社
• AC型PDP及びその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-062597   出願人：富士通株式会社
• 平面型プラズマ放電表示装置と駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-235780   出願人：ソニー株式会社