特許
J-GLOBAL ID：200903072243982274
微少容量検出回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082976
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258286
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 静電容量センサ部1の静電容量Cを感度良く検出する。【解決手段】 電界効果トランジスタ素子15のソース電圧Vsをゲート・ソース抵抗器Rgsを介して静電容量センサ部1の電極面2,3間に印加すると共に、ソース電圧Vsと逆極性の電圧を持つパルス信号をパルス信号発信回路16から電極面2,3間に加える。電界効果トランジスタ素子15は電極面2,3間の静電容量の大きさに応じた電圧Voを出力し、パルス信号のオン期間にスイッチ回路20はオン状態となり上記出力電圧Voがコンデンサ21に印加し、スイッチ回路20のオフ期間コンデンサ21はその電圧を保持する。サンプル・ホールド回路18はコンデンサ21の保持電圧に応じた電圧を出力する。電極面2,3間の短絡故障発生が防止され、かつ、静電容量Cの変化に対応する出力電圧Voutの変化が大きく静電容量検出感度が向上する。
請求項（抜粋）：
互いに間隙を介して対向する電極面を有し該電極面間の静電容量が測定対象物理変化に応じて可変する構成を備えた静電容量センサ部と;該静電容量センサ部の上記電極面間に直流電圧を印加する直流電圧印加回路と;該直流電圧印加回路から上記静電容量センサ部に印加される直流電圧と逆極性の電圧を持つパルス信号を上記静電容量センサ部の電極面間に印加するパルス信号発振回路と;上記直流電圧印加回路から静電容量センサ部への直流電圧印加動作と上記パルス信号発振回路から静電容量センサ部へのパルス信号の印加動作とによって上記静電容量センサ部の電極面間の静電容量に応じた電圧を検出出力する電圧検出回路と;上記パルス信号発振回路から出力されるパルス信号のオン・オフに同期してスイッチオン・オフ動作するスイッチ回路が備えられ該スイッチ回路がスイッチオン状態であるときに上記電圧検出回路から出力される電圧を上記スイッチ回路を通して取り込んで保持するサンプル・ホールド回路と;が設けられていることを特徴とする微少容量検出回路。
IPC (6件)：
G01R 27/26
, G01C 19/56
, G01D 5/24
, G01L 1/14
, G01P 9/04
, G01P 15/125
G01R 27/26 C
, G01C 19/56
, G01L 1/14 A
, G01P 9/04
, G01P 15/125
, G01D 5/24 L
