特許

J-GLOBAL ID：200903072244715644

スピン式コーテイング装置

発明者： 桶谷 大亥 ,  下田 良平
出願人/特許権者： シヤープ株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-312434
公開番号（公開出願番号）：特開平5-146736
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【構成】 回転カップ3および回転カップ上ブタ4を内包するように有底略円筒状の固定カップ6と無底略円筒状の上部カップとその上部カップの上部開口を開閉する上部カップ上ブタ8とを設け、かつ、上部カップ上ブタ8から固定カップ6に向かう気流を設ける。回転カップ3と固定カップ6との隙間を、回転カップ上ブタ4と固定カップ6との隙間より大きく設ける。【効果】 上記の構成によれば、余剰な薬液により生じるミストは、固定カップ6の排気口6bから完全に排気されるので、コーティング装置外部は汚染されない。従って、コーティング装置外部に待機中のコーティングされていないワークや、既にコーティングされたワークにミスト等が付着することがなく、コーティング不良による製品の歩留り低下を防止することができる。

請求項（抜粋）：

ガラス基板等の基板を水平に保持して回転させる回転板と、その回転板を囲むと共に回転板と同軸で回転して上記基板周囲の空気流の乱れを低減する略円筒状の回転カップと、その回転カップの上部開口を開閉する回転カップ上ブタと、フォトレジスト等の薬液を上記基板上に吐出するノズルとが設けられているスピン式コーティング装置において、上記回転カップおよび回転カップ上ブタを内包するように有底略円筒状の固定カップと無底略円筒状の上部カップとその上部カップの上部開口を開閉する上部カップ上ブタとが設けられ、かつ、上部カップ上ブタから固定カップに向かう気流が設けられていることを特徴とするスピン式コーティング装置。

IPC (3件)：

B05C 11/08 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/28

FI (2件)：

H01L 21/30 361 C ,  H01L 21/30 361 L