特許

J-GLOBAL ID：200903072245269877

CCMのヒーターエレメント

発明者： 田中義和 ,  久米将実
出願人/特許権者： 日本カーボン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-210240
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045468
出願日： 1995年07月27日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】 Si単結晶引上げ用上げ炉等の高温炉に用い、軽量で強度が高く、加工も簡単で、局部発熱や発熱班を防止し、均熱加熱が可能なCCM製のヒーターエレメントを提供する。【解決手段】 スリットが多数交互に設けられジグザグ状の発熱体部が形成されてなる加熱炉用円筒状又は板状のヒーターエレメントにおいて、ヒーターエレメント内にスリットを1本以上内在させ加熱電流を強制的に平均に分流させたCCMのヒーターエレメント。また上記ヒーターエレメントにおいてヒーターエレメントに内在させたスリットの数をnとし、ヒーターエレメントの幅w及び長さaに対し、内在させたスリットの長さ〓を特定の関係に定め、スリットを均等に配置させたCCMのヒーターエレメント。

請求項（抜粋）：

スリットが多数交互に設けられジグザグ状の発熱体部が形成されてなる加熱炉用円筒状又は板状のヒーターエレメントにおいて、発熱部の局部発熱や発熱班を防止し、均熱部を多くするためにヒーターエレメント内にスリットを1本以上内在させ加熱電流を強制的に平均に分流させたCCMのヒーターエレメント

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-138886
  
• 特開昭62-154493
  
• 特開昭61-211982