特許
J-GLOBAL ID：200903072248443495
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-293444
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136019
出願日： 1991年11月08日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】本発明は、フォトリソグラフィー技術によりウエハ上の導電体等のパターニングのためのレジストパターンを形成するのに用いられる露光装置に関し、被露光体表面及び被露光体の載置台上の塵を区別して容易に検出することができる露光装置を提供することを目的とする。【構成】被露光体12に露光光を照射する光学系13と、被露光体の載置台11と、被露光体12の搬送手段20と、載置台11上の被露光体12の平坦度を測定する平坦度測定手段16とを有する露光装置であって、載置台11上に載置して平坦度測定手段16により平坦度をモニタする被露光体モニタ21と、被露光体モニタ21の平坦度のモニタ結果を基準として被露光体12の平坦度の測定結果を比較し、該比較の結果に基づいて被露光体12の露光の可否を決定するとともに、少なくとも光学系13,載置台11,搬送手段20及び平坦度測定手段16を制御する制御手段とを含み構成する。
請求項（抜粋）：
被露光体に露光光を照射する光学系と、前記被露光体の載置台と、前記被露光体の搬送手段と、前記載置台上の被露光体の平坦度を測定する平坦度測定手段とを有する露光装置であって、前記載置台上に載置して前記平坦度測定手段により前記平坦度をモニタする被露光体モニタと、前記被露光体モニタの平坦度のモニタ結果を基準として前記被露光体の平坦度の測定結果を比較し、該比較の結果に基づいて前記被露光体の露光の可否を決定するとともに、少なくとも前記光学系,載置台,搬送手段及び平坦度測定手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 301 G
, H01L 21/30 311 S
