特許
J-GLOBAL ID：200903072250425763
探針駆動モータ、その制御装置およびこれらを用いたプローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086895
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196930
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 粗動機能と微動機能とを備えたプローブ顕微鏡用の小型で安価な探針駆動モータを提供する。【解決手段】 探針駆動モータは、永久磁石部5aが組み込まれた固定子5と、固定子5の心棒部5bに挿嵌されたキャップ状の可動子7とによって構成され、可動子7の外周部にはコイル6が巻回されている。可動子7の閉塞端7aの中央部に探針1が取り付けられている。可動子7の側面内側と心棒部5bの側面との間隙には粘弾性体4が充填され、可動子7と固定子5とは粘弾性体4を介して相互に粘弾性的に連結される。粘弾性体4は、高周波の外力変化に対しては弾性体として機能し、低周波の外力変化に対しては粘性体として機能する。
請求項（抜粋）：
第1の磁力発生機能を有する固定子と、探針および第2の磁力発生機能を有し、第2の磁力を前記第1の磁力と相互に作用させて探針を直線駆動させる可動子と、前記固定子と可動子との間に充填され、両者を粘弾性的に連結する粘弾性体とを具備したことを特徴とする探針駆動モータ。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, H01J 37/28 Z
