特許
J-GLOBAL ID：200903072255767328
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-353312
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201950
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 任意の基板処理部から次の基板処理部への移動時間を適切に設定し、各基板処理部への搬送インターバルを一定に保ちながら、スループットの向上を図ることができる基板処理装置を提供する。【構成】 移動体20を任意の基板処理部の移動体停止位置から次の基板処理部の移動体停止位置に移動させるのに要する、異なる方向に対応した駆動機構ごとの所要駆動時間が記憶される。そして、搬送順序により規定された所定の基板処理部から次の基板処理部に基板の搬送を行う際に、その搬送に応じて、それらの所要駆動期間うちの最大の所要駆動時間が当該基板搬送における移動体20の所要移動時間として算出される。さらに、搬送順序により規定された所定の基板処理部から次の基板処理部への基板の各搬送時間が、前記算出手段により算出された所要移動時間と、アーム21,22による移載に要する時間との和となるように、基板が搬送される。
請求項（抜粋）：
基板を支持する支持具を備えた移動体を、回転式基板処理装置を含む複数の基板処理部間を所定の搬送順序で循環移動させることにより、基板を各基板処理部間で所定の搬送順序で搬送して処理する基板処理装置であって、互いに異なる方向に前記移動体を移動させる複数の駆動機構からなり、少なくとも1つ以上の駆動機構を駆動して、移動体を各基板処理部ごとの移動体停止位置の間で移動させる移動手段と、移動体に対して支持具を移動させることによって、前記移動体停止位置に停止の移動体における所定の支持具待機位置と基板処理部との間で、基板を相互に移載させる移載手段と、前記移動体を、前記移動手段により前記搬送順序にしたがって、前記基板処理部のうちの任意の基板処理部の移動体停止位置から次の基板処理部の移動体停止位置に移動させるのに要する、前記異なる方向に対応した駆動機構ごとの所要駆動時間を記憶する駆動時間記憶手段と、前記搬送順序により規定された所定の基板処理部から次の基板処理部への基板搬送の各々に対応して、前記駆動時間記憶手段に記憶された当該基板搬送に対応する前記駆動機構ごとの所要駆動時間を読みだして、それらのうちの最大の所要駆動時間を当該基板搬送における移動体の所要移動時間として算出する算出手段と、前記搬送順序により規定された所定の基板処理部から次の基板処理部への基板の各搬送時間が、前記算出手段により算出された所要移動時間と、前記移載手段による移載に要する時間との和となるように前記移動手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G05B 13/02
, G06F 17/60
, H01L 21/02
