特許

J-GLOBAL ID：200903072257403650

フォトマスクの位置合わせ用バーニアおよびその構成方法

発明者： 針生 敏男
出願人/特許権者： 日立電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-223661
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051402
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 フォトマスクと基板のアライメント1種類につき複数のバーニアを使用して合わせずれ量の測定を行う必要があり、作業効率が悪かった。また、数種類のフォトマスクを使用する場合、それぞれのフォトマスクに対して個々にバーニアが必要となり、多数のバーニアを配置する必要があるため、異なるバーニアで測定してしまうというミスが生じ易かった。【解決手段】 フォトマスク・パターンにおいて、一定の線幅を有し、円に内接する複数の八角形パターンから成り、十字形状となる軸を該軸の中心が該円の中心点と同一に配置されるような合わせ補正用バーニアの構成。

請求項（抜粋）：

フォトマスク・パターンバーニアにおいて、一定の線幅を有し、円に内接し、対向する辺が該円の中心点から等間隔な八角形パターンから成り、前記一定の線幅を持つ十字形状となる軸を、前記八角形パターンの辺と直行するように、かつ、該十字形状となる軸の中心点が該円の中心点と同一座標に配置されることを特徴とする位置合わせ用バーニア。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/08 N ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 522 Z

Fターム (6件)：

2H095BE03 ,  2H095BE09 ,  5F046AA25 ,  5F046EA02 ,  5F046EA09 ,  5F046EB02