特許
J-GLOBAL ID:200903072262919044

定盤のドレッシング装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 林 宏 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-349838
公開番号(公開出願番号):特開平6-170720
出願日: 1992年12月02日
公開日(公表日): 1994年06月21日
要約:
【要約】【目的】 定盤の加工面を刃物で切削する方式のドレッシング装置において、該加工面に細くて深い切削溝が形成されないようにすること。【構成】 平面研磨装置における定盤10,11の加工面を切削する刃物17,18と、該刃物を定盤の半径方向及び上下方向に移動させるための移動手段と、切削深さを設定するための設定手段とを備え、上記刃物を、フラットで水平な刃先17a,18aを有し、該刃先を定盤の回転方向に向けて配設した。
請求項(抜粋):
平面研磨装置における定盤の加工面を切削する刃物、該刃物を定盤の半径方向及び加工面に垂直な方向に移動させるための移動手段、上記刃物による切削深さを設定するための設定手段を備えてなり、上記刃物がフラットで水平な刃先を有し、該刃先を定盤の回転方向に向けて配設されていることを特徴とする定盤のドレッシング装置。
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開昭54-127090
  • 特開昭54-039294
  • 特開平3-149179
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