走査型レーザ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-027009
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218355
出願日： 1996年02月14日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】本発明は、合焦位置を精度よく、しかも速やかに検出することができる焦点調整機能を有する走査型レーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】ピンホール6を結像位置から取り除き、光検出器7より非共焦点を検出することにより、大まかな合焦位置を求め、続けて、ピンホール6を光検出器7の受光面に配置し、非共焦点検出による大まかな合焦位置の範囲について、さらに光検出器7より共焦点を検出して、狭い範囲での合焦位置を求める。

請求項（抜粋）：

標本に対してレーザ光を走査し、該走査に応じた標本像の共焦点検出と非共焦点検出を可能にした走査型レーザ顕微鏡において、前記標本像の非共焦点検出により合焦位置を求める非共焦点光検出手段と、この非共焦点光検出手段で求められた合焦位置の範囲について共焦点検出により合焦位置を求める共焦点光検出手段とを具備したことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/00 , G02B 7/28 , G03B 13/36

FI (3件)：

G02B 21/00 , G02B 7/11 J , G03B 3/00 A

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