特許
J-GLOBAL ID：200903072266181090
基板ホルダ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126266
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335725
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 位置決め不良が生じても基板に疵が生じることなくこれを保持し得る基板ホルダを提供する。【構成】 板状のホルダ本体1の一面には、該ホルダ本体の寸法より少し小さい寸法であり、側面視が階段状になるように凹部が掘削してあり、ホルダ本体1の表面より一段低い肩部3には、その裏面に略クランク形状の押え治具6a複数が取付けられた矩形金属製の背板6が載置されるようになっている。更に肩部3より一段低い載置部4には基板7が載置されるようになっており、保持部3の略中央には矩形の開口部5が開設してある。保持部3は開口部5の中央方向でありホルダ本体1の下面側へ直線的に傾斜するテーパ状になっており、この上に載置された基板7のエッジ部を支持する。また肩部3から開口部5までの距離は基板7の寸法に応じて十分余裕があるようになっている。
請求項（抜粋）：
板状のホルダ本体に基板を装入する凹部が形成してあり、該凹部の内側壁に前記基板の載置部が突設してあり、前記載置部の基板が載置される面は下側への傾斜面であることを特徴とする基板ホルダ。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, C23C 14/50
, C23C 16/44
, H01L 21/203
, H01L 21/205
