耐摩耗性被膜とその形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：越場隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-095212
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279990
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】工具、機械部品、記録媒体等に対してより優れた特性を発揮する耐摩耗性被膜と、これを形成する方法とを提供する。【構成】基材の表面の耐摩耗性を向上させるために該基材の表面に被着される耐摩耗性被膜であって、IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、AlおよびSiの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物またはホウ化物から選択されたを少なくとも2種類の化合物を粒径20nm以下の結晶粒として混在させた超微粒子構造層を含み、全体として膜厚が 0.1〜15μmである。成膜時に、前記基材に被着させる前記被膜を形成する各成分の供給を個別に行い、且つ、連続して1回に供給する各成分の量が該基材の表面に1層以上の被膜を形成するに足りない量になるように該供給時間および供給量を制御し、各成分についてこの操作を繰り返すことにより最終的な耐摩耗性被膜を得る。

請求項（抜粋）：

基材の表面の耐摩耗性を向上させるために該基材の表面に被着される耐摩耗性被膜であって、IVa族元素、Va族元素、VIa族元素、AlおよびSiの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物またはホウ化物から選択された少なくとも2種類の化合物を粒径20nm以下の結晶粒として混在させた超微粒子構造層を含み、全体として膜厚が 0.1〜15μmであることを特徴とする耐摩耗性被膜。

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭61-235555
特開平3-181464
特開平4-021760

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