特許

J-GLOBAL ID：200903072268698732

蛍光測定方法と装置及びそれに適した基板

発明者： 鈴木 智博 ,  岡本 尚志 ,  山本 伸子 ,  松本 和浩
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110048
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304698
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 基板の測定面上の検体に対し励起光を照射し、該検体より発せられた蛍光を測定する装置において、励起光の効率的な除去を行なう方法を提供する。【解決手段】 該蛍光を測定する検光部への該励起光の進入を防ぐことが可能なように、該励起光照射部と該検光部を設置し、該検体に対し該励起光を照射した後に、該基板の測定面上の検体を該励起光照射部から該検光部へ相対的に移動させて該検体からの蛍光を測定することを特徴とする蛍光測定方法。

請求項（抜粋）：

基板の測定面上の検体に対し励起光を照射し、該検体より発せられた蛍光を測定する方法であって、該蛍光を測定する検光部への該励起光の進入を防ぐことが可能なように、該励起光照射部と該検光部を設置し、該検体に対し該励起光を照射した後に、該基板の測定面上の検体を該励起光照射部から該検光部へ相対的に移動させて該検体からの蛍光を測定することを特徴とする蛍光測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/64 ,  G01N 33/483

FI (2件)：

G01N 21/64 E ,  G01N 33/483 C

Fターム (29件)：

2G043AA01 ,  2G043BA16 ,  2G043CA03 ,  2G043CA07 ,  2G043DA02 ,  2G043DA05 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043FA03 ,  2G043GA04 ,  2G043GA07 ,  2G043GB01 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043HA05 ,  2G043LA01 ,  2G043MA01 ,  2G043MA11 ,  2G045DA12 ,  2G045DA13 ,  2G045DA14 ,  2G045DA36 ,  2G045FA11 ,  2G045FB02 ,  2G045FB12 ,  2G045GC15 ,  2G045HA14 ,  2G045JA07