電子線装置の装置状態表示方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹本松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125716
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321177
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】表示装置を付加することなく、電子線装置の装置状態を常時監視する電子線装置の装置状態表示方法を提供する。【解決手段】電子線装置(電子線マイクロアナライザ4)に接続された制御装置1が備えるモニター2の表示方法において、モニター2は、表示内容を切り換え表示可能とする第1表示領域21と前記第1表示領域21と独立した第2表示領域22を同一表示画面上に作成し、第2表示領域22に電子線装置(4)の装置状態を常時表示する、これによって、表示装置を付加することなく、電子線装置の装置状態を常に監視可能とする。

請求項（抜粋）：

電子線装置に接続された制御装置が備えるモニターの表示方法において、モニター上に、表示内容を切り換え表示可能とする第1表示領域と前記第1表示領域と独立した第2表示領域を同一表示画面上に作成し、第2表示領域に電子線装置の装置状態を常時表示することを特徴とする電子線装置の装置状態表示方法。

IPC (5件)：

H01J 37/22 502 , G01D 7/00 301 , G01N 23/00 , H01J 37/28 , G01N 23/225

FI (5件)：

H01J 37/22 502 Z , G01D 7/00 301 M , G01N 23/00 , H01J 37/28 Z , G01N 23/225

引用特許：

審査官引用 (3件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-020116 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-165437
特開平3-165437

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