特許
J-GLOBAL ID:200903072273056200

位置測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江崎 光史 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-111444
公開番号(公開出願番号):特開平7-055408
出願日: 1994年05月25日
公開日(公表日): 1995年03月03日
要約:
【要約】【目的】 位置に依存する走査信号を形成するために目盛板の測定目盛を走査ユニットで磁気抵抗素子を用いて走査し、目盛板に沿って相対運動する二つの物体の相対位置を測定する位置測定装置にあって、出力信号の振幅を再調整できる距離に依存する制御量を簡単な手段で発生させることにある。【構成】 走査ユニットがこの走査ユニットと測定目盛の間の間隔dを測定する磁気抵抗素子41を有するセンサ3を保有し、センサ3の出力端に測定目盛によって変調されない測定信号Sd が出力し、測定信号の振幅は走査ユニットと測定目盛の間の間隔dに依存する。
請求項(抜粋):
位置に依存する走査信号(S1,S2 )を形成する磁気抵抗素子(21〜24)を用いて走査ユニット(2)により目盛板の測定目盛を走査し、目盛板に沿って相対運動する二つの物体の相対位置を測定する位置測定装置において、走査ユニット(2)と測定目盛(1)の間の間隔(d)を測定する磁気抵抗素子(41)を備えたセンサ(3)が走査ユニット(2)に設けてあり、センサ(3)の出力端に測定目盛(1)で変調されていない測定信号(Sd )を出力し、この測定信号の振幅が走査ユニット(2)と測定目盛(1)の間の間隔(d)に依存することを特徴とする位置測定装置。
IPC (2件):
G01B 7/00 ,  G01D 5/245

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