特許
J-GLOBAL ID：200903072282376284
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-236641
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101218
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 光学顕微鏡によるプローブと観察位置との位置合わせの操作を自動で行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【構成】 光学顕微鏡を備えた走査型プローブ顕微鏡において、この光学顕微鏡3は、対象物上の位置に対する焦点合わせと、その焦点位置から設定距離だけ離れた設定位置に対する焦点合わせを自動的に行う自動焦点機構と、試料1とプローブ2の間隔を変更する移動機構(4,6,7)とを備え、移動機構は、自動焦点機構により焦点合わせが行われた設定位置において結象が行われるように駆動し、試料とプローブの間隔を設定距離とする。
請求項（抜粋）：
光学顕微鏡を備えた走査型プローブ顕微鏡において、前記光学顕微鏡は、対象物上の位置に対する焦点合わせと、該焦点位置から設定距離だけ離れた設定位置に対する焦点合わせを自動的に行う自動焦点機構と、試料とプローブの間隔を変更する移動機構とを備え、前記移動機構は、前記自動焦点機構により焦点合わせが行われた設定位置において結象が行われるように駆動し、前記間隔を前記設定距離とすることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G02B 21/00
, H01J 37/22 502
