特許
J-GLOBAL ID：200903072282806645
光変調装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
樺山 亨
, 本多 章悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-191171
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024966
出願日： 2003年07月03日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】マイクロミラーデバイス(MMD)の多くは、ミラー部が片持ち梁で支えられているため、作動時に振動が発生しやすく、制御が不安定になる。発明者らは両持ち梁を用いたMMDを提案したが、梁が当接する対向面を、基準面に対する角度が異なる第1の対向面と第2の対向面に分け、両者を屈曲点によって接続しているので、製造工程が複雑になっていた。【解決手段】ほぼV字形の浅い凹部の両側に平坦部を有する基板202上に、該平坦部に両端を固定し、該凹部に掛け渡すように光反射膜206を有する両持ち梁201を設ける。凹部は両持ち梁201の固定端部201aに近い側の第1の対向面207aと、それに接続され基板電極204を備える第2の対向面207bを有する。第1の対向面207aと第2の対向面207bは同一面をなす。両持ち梁201は静電引力によって変形し光の反射方向を変えることができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
入射光の反射方向を変えて光変調を行う光変調装置であって、少なくとも、上面の両端に平坦部を有する基板と、該基板の前記平坦部に両端を固定され中間を静電引力により変形し得る変形部とする梁電極を備えた両持ち梁とを有し、前記基板はほぼ中央部に、前記両持ち梁の両端の固定部分を結ぶ基準面と、前記平坦部に近い第1の対向面と、中央部に近く基板電極を備えた第2の対向面とによって囲まれた凹部を有し、前記両持ち梁は、少なくとも入射光を正反射する光反射膜を有し、前記変形部が前記第1及び第2の対向面に対向して配置され、前記変形を少なくとも上記第2の対向面への当接により規制して前記光反射膜への入射光の光変調を行う光変調装置において、前記第1の対向面は前記第2の対向面と同一面をなすことを特徴とする光変調装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2H041AA14
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
