特許
J-GLOBAL ID：200903072286116473
流量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-206716
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055523
出願日： 1993年08月20日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 熱容量、および熱伝導を小さくすることにより高い応答性を有するとともに、高い機械的強度を有する流量センサを提供する。【構成】 基板13と、この基板13の表面に形成された絶縁膜14と、この絶縁膜14の表面に形成された流量検出回路導体15と、前記絶縁膜14の表面に前記流量検出回路導体15を覆うように形成された導体保護膜16とを備えるとともに、前記基板13の前記流量検出回路導体15の位置する部分に熱絶縁用空間部21が形成されており、さらに、前記絶縁膜14には、前記流量検出回路導体15の形成された部分の下方に薄肉部23が形成されている。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板の表面に形成された絶縁層と、この絶縁層内に形成された流量検出回路導体とを備えてなり、前記基板の前記流量検出回路導体の位置する部分に熱絶縁用の空間部が形成されている流量センサにおいて、前記絶縁層の前記流量検出回路導体の形成された領域に薄肉部が形成されていることを特徴とする流量センサ。
IPC (2件)：
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