特許
J-GLOBAL ID：200903072287859119
集積型光カップラ及びその使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-205998
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050213
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：
【要約】【目的】 集積化が容易で、プロセスが容易であり、信頼性、再現性、歩留りに優れた集積型光カップラである。【構成】 半導体基板5上に構成されたチャンネル導波路構造に光波の分岐・結合を行なう為のカップラ部3が構成されている。カップラ部3の導波路層7bは、カップラ部以外の導波路層7aに比べ、導波路の層方向の界分布が拡がって形成されている。これにより、カップラ2形成の際のプロセスの自由度が広がり、光波分岐比、結合効率の制御が容易になる。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に構成されたチャンネル導波路構造に光波の分岐・結合を行なう為のカップラ部が構成されており、該カップラ部の導波路層は、カップラ部以外の導波路層に比べ、導波路の層方向の界分布が拡がって形成されていることを特徴とする集積型光カップラ。
IPC (4件)：
G02B 6/122
, G02B 6/12
, H01S 3/18
, H04B 10/02
G02B 6/12 D
, G02B 6/12 J
, H04B 9/00 U
