ガスセンサとその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松田正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-018998
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289809
出願日： 2001年01月26日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【目的】野菜から発生する低濃度の検知ガス(エチレン、エタノール、アルデヒド類、メルカプタン類、アミン類)に対し、高い感度を示し、野菜の新鮮度及び腐敗度を感知等の用途に適するガスセンサの実現。【構成】絶縁性基板1と、所定の間隔をおいて、前記基板1上に設けられた一対の薄膜電極2と、前記基板1と前記薄膜電極2上に設けられた、所定の物質を主成分とするガス感応体薄膜3と、前記ガス感応体薄膜3上に、前記一対の薄膜電極2の位置に対応して設けられた一対の厚膜電極4を少なくとも備え、前記薄膜電極2と前記厚膜電極4は、前記ガス感応体薄膜3の一部を挟み込むように形成されている。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板と、所定の間隔をおいて、前記基板上に設けられた一対の薄膜電極と、前記基板と前記薄膜電極上に設けられた、所定の物質を主成分とするガス感応体薄膜と、前記ガス感応体薄膜上に、前記一対の薄膜電極の位置に対応して設けられた一対の厚膜電極を少なくとも備え、前記薄膜電極と前記厚膜電極は、前記ガス感応体薄膜の一部を挟み込むように形成されていることを特徴とするガスセンサ。

FI (2件)：

G01N 27/12 B , G01N 27/12 C

Fターム (21件)：

2G046AA18 , 2G046AA24 , 2G046AA34 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BC01 , 2G046BC05 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EA08 , 2G046EA09 , 2G046EA18 , 2G046FB02 , 2G046FE09 , 2G046FE12 , 2G046FE21 , 2G046FE25 , 2G046FE29 , 2G046FE39 , 2G046FE48

前のページに戻る