特許

J-GLOBAL ID：200903072301342612

表面が改質された真空材料とその表面改質方法

発明者： 土佐 正弘 ,  笠原 章 ,  吉原 一紘
出願人/特許権者： 科学技術庁金属材料技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350333
公開番号（公開出願番号）：特開2000-178715
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：

【要約】【課題】 真空材料の真空中における摩擦特性を改善し、トライボロジー特性の向上を図る。【解決手段】 真空材料の表面に、六方晶窒化ホウ素及び銅をスパッタ蒸着してこれらの混合膜を形成し、真空中における摩擦係数を低減させる。

請求項（抜粋）：

表面が六方晶窒化ホウ素と銅のスパッタ蒸着による混合膜で被覆され、真空中における摩擦係数が低減されていることを特徴とする表面が改質された真空材料。

IPC (6件)：

C23C 14/06 ,  B01J 3/00 ,  F04B 37/16 ,  F04D 19/04 ,  F16C 33/12 ,  C22C 9/00

FI (6件)：

C23C 14/06 L ,  B01J 3/00 K ,  F04B 37/16 Z ,  F04D 19/04 G ,  F16C 33/12 Z ,  C22C 9/00

Fターム (21件)：

3H031DA00 ,  3H031EA00 ,  3H031FA34 ,  3H076AA21 ,  3H076BB21 ,  3H076BB43 ,  3H076BB50 ,  3H076CC55 ,  3J011QA03 ,  3J011QA04 ,  3J011SB03 ,  3J011SE10 ,  4K029AA02 ,  4K029BA08 ,  4K029BA59 ,  4K029BB01 ,  4K029BD03 ,  4K029BD04 ,  4K029CA05 ,  4K029DC15 ,  4K029DC35