特許

J-GLOBAL ID：200903072310450444

ウエーハ搬送容器の着座確認装置

発明者： 大上 道夫
出願人/特許権者： 株式会社オプティコン
代理人 (1件)： 牧 哲郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-371321
公開番号（公開出願番号）：特開2003-174068
出願日： 2001年12月05日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】より確実で、かつ作業の邪魔にならない方法でウエーハ搬送容器の位置ずれを検出できるようにする。【解決手段】結合ピン4の内側を中空にしてそこから斜め上方に向けて2本の通孔a、aを穿ち、側面に設けた切り欠き部bに終端部を開口する。通孔a、aは、軸線がウエーハ搬送容器の底面に設けたV字溝2の傾斜面と直角に交わり、点Aで交差する方向に穿設する。そして、通孔a、a内に拡散反射型の光ファイバセンサ7を挿入し、投光側の光をV字溝2の点Aに反射させて受光側で受光する。このとき、点Aからの反射光量が設定されたしきい値レベルを越えると出力が反転し、結合ピン4が規定どおりにV字溝2に収まったことを検出する。

請求項（抜粋）：

容器の底面に設けたV字溝に台座より突起した結合ピンを挿嵌してウエーハ搬送容器を定位置にセットする構成において、前記結合ピンに反射型の光センサを埋め込み、この光センサの出力信号に基づいて前記結合ピンのV字溝への挿嵌を検出し、しかして前記ウエーハ搬送容器が定位置に正しくセットされたかどうかを確認してなるウエーハ搬送容器の着座確認装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  G01B 11/00 B

Fターム (26件)：

2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA37 ,  2F065BB05 ,  2F065CC17 ,  2F065DD04 ,  2F065DD16 ,  2F065FF23 ,  2F065FF41 ,  2F065GG13 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL02 ,  2F065QQ25 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA30