特許
J-GLOBAL ID:200903072312970364

レーザ分光分析方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木戸 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-159081
公開番号(公開出願番号):特開2002-350337
出願日: 2001年05月28日
公開日(公表日): 2002年12月04日
要約:
【要約】【課題】 半導体レーザのレーザパワーを十分に有効に利用することによってノイズを低減し、S/Nの向上を図り、目的とするガス成分を高感度かつ高精度に分析することができるレーザ分光分析方法及び装置を提供する。【解決手段】 半導体レーザビームを用いてガス分析を行うレーザ分光分析方法において、サンプルセル13中の被測定ガスを透過したレーザビームの強度を複数の光検出手段(光検出器41〜45)で検出し、該複数の光検出手段から出力される複数の光強度信号を加算して分析用光強度信号とし、該分析用光強度信号に基づいてガス分析を行う。
請求項(抜粋):
半導体レーザビームを用いてガス分析を行うレーザ分光分析方法において、被測定ガスを透過したレーザビームの強度を複数の光検出手段で検出し、該複数の光検出手段から出力される複数の光強度信号を加算して分析用光強度信号とし、該分析用光強度信号に基づいてガス分析を行うことを特徴とするレーザ分光分析方法。
Fターム (14件):
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059BB04 ,  2G059DD13 ,  2G059DD17 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM20 ,  2G059PP10

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