特許
J-GLOBAL ID：200903072320950356
光磁気記録媒体用ターゲット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-126548
公開番号（公開出願番号）：特開平5-320888
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 マグネトロンスパッタリング装置に好適な磁化および透磁率の低い光磁気記録媒体用ターゲットを提供する。【構成】 本発明は、実質的に鉄族元素と希土類元素からなるターゲットであって、全体の組織に占める鉄族金属相または鉄族化合物相(ただし、鉄族元素と希土類との化合物は除く)の割合が20面積%以下の光磁気記録媒体用ターゲットである。好ましくは、原子比率で鉄族元素/希土類金属の値が2を越える金属間化合物を主相とする。また、鉄族金属相または鉄族化合物相は20面積%以下、5面積%以上占めることが望ましい。
請求項（抜粋）：
実質的に鉄族元素と希土類元素からなるターゲットであって、全体の組織に占める鉄族金属相または鉄族化合物相(ただし、鉄族元素と希土類との化合物は除く)の割合が20面積%以下の光磁気記録媒体用ターゲット。
IPC (2件)：
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