特許
J-GLOBAL ID：200903072321020115

スタンパー、凹凸パターン形成方法および情報記録媒体製造方法

発明者：
藤田 実

藤田 実 について

, 
日比 幹晴

日比 幹晴 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-009377
公開番号（公開出願番号）：特開2007-190735
出願日： 2006年01月18日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【課題】凹凸パターンの変形や転写不良の発生を回避し得るスタンパーを提供する。【解決手段】凹凸パターン5が形成された凹凸パターン形成面6とその裏面7との間の厚みが外縁領域Aoにおいて外縁部Po側ほど徐々に薄くなるように形成されている。また、凹凸パターン形成面6とその裏面7との間の厚みが口縁領域Aeにおいて口縁部Pe側ほど徐々に薄くなるように形成されている。これにより、インプリント処理時に樹脂層の表面に加わる圧力がスタンパー1の外縁領域Aoおよび口縁領域Aeの両領域(端部領域)に集中する事態を回避することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
凹凸パターンが形成されたパターン形成面とその裏面との間の厚みが外縁領域において外縁部側ほど徐々に薄くなるように形成されているスタンパー。
IPC (4件)：
B29C 33/42 ,  G11B 5/855 ,  B29C 59/02 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
B29C33/42 ,  G11B5/855 ,  B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D
Fターム (28件)：
4F202AF01 ,  4F202AH38 ,  4F202AH79 ,  4F202AJ05 ,  4F202CA01 ,  4F202CA09 ,  4F202CA11 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CK43 ,  4F209AC05 ,  4F209AF01 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AH79 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  5D112AA03 ,  5D112AA19 ,  5D112AA20 ,  5D112AA24 ,  5D112GB07 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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