特許
J-GLOBAL ID：200903072328170295
薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114382
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312882
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】薄膜トランジスタアレイ基板の配線の短絡断線検査において、短時間でより正確に不良箇所まで特定する。【構成】被検査配線に電圧を印加し、その時の電流値又は抵抗値を測定する。それと同時に、配線に電流が流れると発熱することを利用し、赤外放射温度計で配線の温度分布を測定する。これにより短時間で不良箇所まで特定が可能となる。
請求項（抜粋）：
薄膜トランジスタアレイ基板の配線の短絡・断線箇所の検査において、配線または配線間に電圧を印加し電流が流れるかどうかを調べるとともに、赤外放射温度計により温度分布を測定することを特徴とする薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法。
IPC (5件)：
G01R 31/02
, G01J 5/48
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1343
, G02F 1/136 500
