特許
J-GLOBAL ID：200903072328589156
大面積発光材料およびその製法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曽々木 太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-079322
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243607
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】 大面積にかつ安価に形成できる発光材料およびその製法を提供する。【構成】 本発明の発光材料は、ガラス基板1または透明電極2が形成されたガラス基板1上に、水素化アモルファスシリコン層3と微結晶のシリコンを含む水素化アモルファスシリコン層4とからなる積層体単位が、多層に形成されてなる多層膜5からなるものである。また、本発明の発光材料の製法は、ガラス基板1または透明電極2が形成されたガラス基板1上に、例えば、プラズマCVD法により、水素化アモルファスシリコン3層を形成し、しかるのち、ECRプラズマにより水素化アモルファスシリコン層3の表面層を、微結晶のシリコンを含む水素化アモルファスシリコン層4に改質する工程を繰り返して、多層膜5を形成するものである。
請求項（抜粋）：
ガラス基板または透明電極が形成されたガラス基板上に、水素化アモルファスシリコン層と微結晶のシリコンを含むアモルファスシリコン層とからなる積層体単位が、多層に形成されてなることを特徴とする大面積発光材料。
引用特許：
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