特許
J-GLOBAL ID：200903072329378035
金属酸化物膜の製法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-118406
公開番号（公開出願番号）：特開平7-316819
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：
【要約】【構成】所定の基体の表面に金属酸化物粉末を含有するスラリーを塗布し乾燥して金属酸化物膜を形成した後、これを気相反応室内に収容し、該反応室内に前記金属酸化物を構成する金属のハロゲン化ガスおよび酸素含有ガスを導入することにより、前記金属酸化物膜内部あるいはその表面に前記金属酸化物を析出させることを特徴とする。【効果】基体の表面に緻密な膜を短時間で、且つクラックや膜剥離なく、安定して成膜することができる。
請求項（抜粋）：
所定の基体の表面に金属粉末および/または金属酸化物粉末を含有するスラリーを塗布し乾燥して金属および/または金属酸化物膜を形成した後、これを気相反応室内に収容し、該反応室内に金属のハロゲン化ガスおよび酸素含有ガスを導入することにより、前記金属および/または金属酸化物膜内部あるいはその表面に所定の金属酸化物を析出させることを特徴とする金属酸化物膜の製法。
IPC (5件)：
C23C 16/40
, C23C 8/02
, C23C 8/12
, C23C 24/08
, H01M 8/12
