特許

J-GLOBAL ID：200903072331776986

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： 市川 立也 ,  遠藤 昌樹 ,  鎌倉 祐一 ,  中村 三佳 ,  沢辺 賢
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-221370
公開番号（公開出願番号）：特開平6-065327
出願日： 1992年08月20日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】 優れた密着性とテント強度、現像性、剥離性を有し、高精度のレリーフ像を可能とする感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)メタクリル酸、アクリル酸メチル及び一般式(I)で示されるアルキルメタクリレートを必須成分として共重合して得られるTgが50°C〜120°C、重量平均分子量が30,000〜200,000のビニル系共重合化合物、【化1】(式中R1は、炭素数1〜4のアルキル基である)(B)エチレン性不飽和化合物並びに(C)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

(A)メタクリル酸、アクリル酸メチル及び一般式(I)で示されるアルキルメタクリレートを必須成分として共重合して得られるTgが50°C〜120°C、重量平均分子量が30,000〜200,000のビニル系共重合化合物、【化1】(式中R1は、炭素数1〜4のアルキル基である)(B)エチレン性不飽和化合物並びに(C)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (10件)：

C08F220/18 MMF ,  C08F 2/44 MCS ,  C08F 2/50 MDH ,  C08F220/20 MMV ,  C08F299/02 MRS ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/00 ,  C23F 1/00 102

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-214354
  
• 特開平3-160058
  
• 特開昭3-240715