特許

J-GLOBAL ID：200903072333739557

感光性重合体組成物、並びにレリーフパターンの製造法及びそれを用いた電子部品

発明者： 山崎 範幸
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-220326
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029409
出願日： 2001年07月19日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】溶解阻害剤を添加することなく、アルカリ水溶液現像によってパタ-ン形状に優れたレリーフパターンを形成することを可能にする感光性重合体組成物並びにレリーフパターンの製造法及びそれを用いた電子部品。【解決手段】(a)アルカリ水溶液可溶性のポリベンゾオキサゾール前駆体、(b)光により酸を発生する化合物、及び(c)芳香環に直接結合した炭素上に水酸基を有する三級アルコールを少なくとも1つ以上有する化合物を含む感光性重合体組成物。

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ水溶液可溶性ポリベンゾオキサゾール前駆体、(b)光により酸を発生する化合物、及び(c)芳香環に直接結合した炭素上に水酸基を有する三級アルコールを少なくとも1つ以上有する化合物を含む感光性重合体組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/038 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (24件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB26 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA01 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA03 ,  2H096JA04