半導体デバイスの欠陥分類方法および半導体デバイスの歩留まり予測方法および半導体デバイスの製造方法および半導体デバイスの欠陥分類システムおよび半導体デバイス分類装置およびそれらに用いるプログラムおよび記録媒体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木市郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-209741
公開番号（公開出願番号）：特開2003-023056
出願日： 2001年07月10日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】インラインの欠陥検査工程において、高精度な欠陥致命性評価、歩留まり予測、故障個所特定を行うこと。【解決手段】半導体チップのレイアウトパターンデータと欠陥画像との重ね合わせによって、不良候補となる配線箇所を抽出し、抽出した不良候補の配線の配線機能種別を弁別することで、ショートモード種別や断線モード種別等の配線不良モード種別を分類する。

請求項（抜粋）：

半導体チップのレイアウトパターンデータと欠陥画像との重ね合わせによって、不良候補となる配線箇所を抽出し、抽出した不良候補の配線の配線機能種別を弁別することで、ショートモード種別や断線モード種別等の配線不良モード種別を分類することを特徴とする半導体デバイスの欠陥分類方法。

IPC (6件)：

H01L 21/66 , G01N 21/956 , G01R 31/02 , G01R 31/302 , G06T 1/00 305 , G06T 7/00 300

FI (7件)：

H01L 21/66 Z , H01L 21/66 A , G01N 21/956 A , G01R 31/02 , G06T 1/00 305 A , G06T 7/00 300 E , G01R 31/28 L

Fターム (46件)：

2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AA13 , 2G014AB21 , 2G014AB59 , 2G014AC11 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EC01 , 2G132AA08 , 2G132AB00 , 2G132AD15 , 2G132AF13 , 2G132AL12 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA04 , 4M106CA16 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DA15 , 4M106DH01 , 4M106DH31 , 4M106DH34 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 4M106DJ40 , 5B057AA03 , 5B057CA12 , 5B057CB12 , 5B057CC01 , 5B057CE08 , 5B057CH01 , 5B057CH14 , 5B057DA03 , 5B057DA12 , 5B057DB02 , 5B057DC33 , 5L096BA03 , 5L096DA02 , 5L096GA08 , 5L096HA09

前のページに戻る