ガラス基板研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺澤襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-251509
公開番号（公開出願番号）：特開平9-085512
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板を容易かつ確実に研磨する。【解決手段】液晶表示装置のガラス基板16をステージ14上に載置する。カッタ支持装置26で支持したカッタ31をモータ35で回転する。X軸22、Y軸23、Z軸24の3軸を駆動し、回転するカッタ31をガラス基板16の表面に沿って移動する。このカッタ31により、ガラス基板16の表面に付着した異物を研削しながら、ガラス基板16の表面を研磨する。

請求項（抜粋）：

カッタと、このカッタを支持するカッタ支持装置と、前記カッタを回転駆動する回転手段と、前記カッタ支持装置をガラス基板の表面に沿って移動させる移動手段とを具備したことを特徴とするガラス基板研磨装置。

IPC (3件)：

B23C 3/00 , C03C 19/00 , G02F 1/1333 500

FI (3件)：

B23C 3/00 , C03C 19/00 Z , G02F 1/1333 500

前のページに戻る