特許
J-GLOBAL ID：200903072346547665
アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物及び感光性ドライフィルムレジスト、並びにその利用
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-117947
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325616
出願日： 2003年04月23日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】本発明は、アルカリ水溶液で現像可能で、良好なパターン形状が得られ、かつ耐熱性や電気絶縁性に優れた感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルムレジスト、並びにこれらの利用方法を提供する。【解決手段】(A)水酸基を含有するポリイミド樹脂に、炭素-炭素二重結合を有する化合物を反応させて得られる感光性ポリイミド樹脂、(B)(メタ)アクリル化合物、エポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、イミド(メタ)アクリレートからなる群より選ばれる少なくとも1種の(メタ)アクリル系化合物、並びに(C)光反応開始剤及び/又は増感剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)水酸基を含有するポリイミド樹脂に、炭素-炭素二重結合を有する化合物を反応させて得られる感光性ポリイミド樹脂、(B)(メタ)アクリル化合物、エポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、イミド(メタ)アクリレートからなる群より選ばれる少なくとも1種の(メタ)アクリル系化合物、並びに(C)光反応開始剤及び/又は増感剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/038
, G03F7/004
, G03F7/027
G03F7/038 504
, G03F7/004 512
, G03F7/027 513
2H025AA04
, 2H025AB11
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC67
, 2H025BC69
, 2H025BC83
, 2H025BC86
, 2H025BC92
, 2H025BJ10
, 2H025FA17
