特許
J-GLOBAL ID:200903072349863223

低温テストチャンバ内で温度を調整するための装置、および低温テストチャンバ内で温度を調整するための方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-184987
公開番号(公開出願番号):特開平10-091250
出願日: 1997年07月10日
公開日(公表日): 1998年04月10日
要約:
【要約】【課題】 約1.5Kから約400Kの間で温度を連続して調整する能力を有した二重毛管入口低温テストチャンバを提供する。【解決手段】 テストチャンバ(15)から間隔をあけられ、寒剤から熱的に絶縁された、制御可能に加熱される毛管(13)が低温リザーバ(12)内に配置される。この毛管(13)は流体の流れに対する特徴的なインピーダンスを有する。第2の低温かつ高インピーダンスの毛管(72)の入口もまた低温リザーバ(12)内にあり、低温リザーバ(12)とテストチャンバ(15)との間に接続される。圧力および温度のフィードバックを有した制御システムと異なったインピーダンスの2つの入口チューブとの組合せが、装置にその動作範囲内の温度で連続的かつ安定して動作することを可能にさせ、または予め定められた温度範囲にわたって円滑に移行することを可能にさせる。
請求項(抜粋):
低温テストチャンバ内で温度を調整するための装置であって、前記装置は、液相の流体のリザーバを低温で含むように適合された低温容器と、前記低温容器内にテストチャンバを規定する手段と、前記低温容器の内部の低温流体と前記テストチャンバとの間に流体流れ経路を規定するとともに、入口端部と前記テストチャンバの内部と流体で通じる出口端部とを有する第1の流体流れ手段と、前記低温容器内に配置され、前記第1の流体流れ手段の前記入口端部と前記低温容器内の前記低温流体との間に接続され、流体の流れに対する第1のインピーダンスを有する第1の毛管と、前記第1の毛管と熱的に通じた毛管加熱器手段と、前記テストチャンバと熱的に通じたテストチャンバ加熱器手段と、一般に前記低温容器の内部から分離されるとともに前記第1の流れのインピーダンスよりもはるかに高い第2の流れのインピーダンスを有する第2の毛管を部分的に含み、前記低温容器の内部の前記低温流体と前記テストチャンバとの間に接続された第2の流体流れ手段と、前記テストチャンバを部分的に排出させて、前記低温容器から選択的に前記第1の流体流れ手段および前記第2の流体流れ手段を介して前記テストチャンバへと流体を引き入れるように動作する排出手段とを含み、前記装置が動作しているとき、前記テストチャンバが前記低温流体の中へ延び、かつその内部に維持され、前記第1の流体流れ手段および前記第2の流体流れ手段が前記低温流体の表面下で前記低温容器内の前記低温流体内に維持されるレベルで前記低温容器内の前記低温流体が維持される、装置。
IPC (5件):
G05D 23/00 ,  B01L 1/00 ,  B01L 7/00 ,  F25D 3/10 ,  G01N 25/00
FI (5件):
G05D 23/00 A ,  B01L 1/00 C ,  B01L 7/00 ,  F25D 3/10 D ,  G01N 25/00 M

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