特許
J-GLOBAL ID：200903072351455590
ダイヤモンドの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-118485
公開番号（公開出願番号）：特開平8-151297
出願日： 1995年05月17日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 従来よりも耐摩耗性に優れた気相合成ダイヤモンドを製造する。【構成】 水素および炭素源である有機化合物を主成分とする原料ガスから、多結晶ダイヤモンドを気相合成する方法において、原料ガスにおける水素に対する炭素源の濃度を経時的にかつ周期的に変化させることにより、表面からX線を入射して得られる(111)結晶面のロッキングカーブのFWHM値が2°〜20°の範囲の多結晶ダイヤモンドを気相合成する。
請求項（抜粋）：
水素および炭素源である有機化合物を主成分とする原料ガスから、多結晶ダイヤモンドを気相合成する方法であって、前記原料ガスにおいて、前記水素に対する前記炭素源の濃度を経時的にかつ周期的に変化させる原料ガス供給工程を備え、それにより、表面からX線を入射して得られる(111)結晶面のロッキングカーブのFWHM値が2°〜20°の範囲の多結晶ダイヤモンドを気相合成することを特徴とする、ダイヤモンドの製造方法。
IPC (3件)：
C30B 29/04
, B23B 27/14
, C30B 28/14
