特許

J-GLOBAL ID：200903072351586350

反射鏡およびその製造方法

発明者： 村上 勝彦 ,  加藤 登樹雄 ,  品田 邦典
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-140405
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326598
出願日： 1998年05月08日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 形状誤差および表面粗さが小さく、しかもX線などの照射光に起因する熱変形を充分小さく抑えることのできる反射鏡とその製造方法を提供する。【解決手段】 金属製基板1の上に非晶質2の薄膜が形成され、その上に所定波長のX線を反射する多層膜3が形成されている。反射鏡に入射するX線によって発生する熱を反射鏡の裏面に設けられた冷却装置側に効率よく逃すために、基板として金属性基板1を使用している。よって、熱変形によって生じる形状誤差が小さくなる。金属製基板1はその表面粗さを小さくすることが困難である。よって、これらの金属製基板1の上に表面が光学的に平滑に研磨された非晶質物質2を形成し、その上にX線を反射する多層膜3を設ける。

請求項（抜粋）：

入射する光線から多量の熱を吸収する場所に使用される反射鏡であって、金属製基板または合金基板と、前記基板の表面に形成され、表面が光学的に平滑に研磨された非晶質物質の薄膜とを有してなることを特徴とする反射鏡。

IPC (4件)：

G21K 1/06 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G21K 1/06 B ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 531 A