特許
J-GLOBAL ID：200903072352528575
磁性マイクロアクチュエータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-542495
公開番号（公開出願番号）：特表2000-511757
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：
【要約】選択的に作動させることのできるマイクロ構造(100)が、ベース(122)と、該ベースに取り付けられた少なくとも1つの機械的アタッチメント(104)により支持される片持ちばりエレメントであり、それは該エレメントがその向きを変えることを許すようになっている片持ちばりエレメントと、この片持ちばりエレメントの表面の1つ以上の領域(104、106)に置かれた磁気的に活性の材料の少なくとも1つの層とを有して設けられている。選択的に加えられる磁場が該片持ちばりエレメントにトルクを加えてそれを動かすことができる。電圧源(116)は磁場が加えられているときには該片持ちばりエレメントが動かないように保つクーロン引力を生じる。複数の選択的に作動させることのできるマイクロ構造は、マイクロ構造の各々が、対応する電圧源を選択的に切り換えることにより、個別に作動することができる。
請求項（抜粋）：
選択的に作動させることのできるマイクロ構造において、このマイクロ構造 は: ベース; 該ベースに取り付けられた少なくとも1つの機械的アタッチメントにより支 持される片持ちばりエレメントであり、前記アタッチメントが前記エレメント がその向きを変えることを許すようになっている片持ちばりエレメント;及び この片持ちばりエレメントの表面の1つ以上の領域に置かれた磁気的に活性 の材料の少なくとも1つの層を有し; 選択的に加えられる磁場が該片持ちばりエレメントにトルクを加えてそれを 動かすことができるように、 この片持ちばりエレメント、機械的アタッチメント、及び磁気的に活性の材 料は1つのバッチ・プロセスでマイクロ製造されるようになっていることを特 徴とするマイクロ構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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