気体酸化用電界装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195689
公開番号（公開出願番号）：特開平7-047223
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】処理ガスの性状によらず均一のプラズマを発生させる気体酸化用電界装置を提供する。【構成】同一形状の電極の突起1aと3a,1cと3aを例えば誘電体2の右側と左側で互いに隣り合わないようにずらして配設することにより、誘電体2と突起1a,1c,3aが接触している面の反対側の面すなわち、電極が接触していない誘電体表面において沿面放電を発生させる。同時に、上記沿面放電発生面に対して電極1a,1d,1b,1c,3a,3bが配設されていて、その沿面放電発生面と同極性の電圧が印加されることから、沿面放電発生面とそれをとり囲むように設置された電極との間の空間すなわち、管状のガス通路内部はグロー放電プラズマ状態となる。

請求項（抜粋）：

角筒状の外枠の左右側壁より内部に向って上下に複数段の棚状突起を有する第1電極と、上記外枠の内部を左右複数個に仕切る隔壁より左右両側に上記第1電極の棚状突起と対応する複数段の棚状突起を有する第1櫛歯状電極と、平壁の左右両側に上記第1電極及び第1櫛歯状電極それぞれの棚状突起と互い違いにずれた位置にあって複数段の棚状突起を有する第2櫛歯状電極と、上記第1電極と第2櫛歯状電極とのそれぞれの棚状突起に接触してその間に位置し及び上記第1櫛歯状電極と第2櫛歯状電極とのそれぞれの棚状突起に接触してその間に位置する誘電体とを有し、上記第1電極及び第1櫛歯状電極と第2櫛歯状電極との間に異なる極性の電圧を印加した気体酸化用電界装置。

IPC (8件)：

B01D 53/32 , B01D 53/34 ZAB , B01D 53/60 , B01D 53/74 , B01J 19/00 , B01J 19/08 , C01B 13/11 , H05H 1/48

FI (2件)：

B01D 53/34 ZAB Z , B01D 53/34 132 A

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