特許
J-GLOBAL ID：200903072358415780
画像パターン検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-066786
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243984
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 重み係数の試行錯誤的な選定等の不確定要素を持ち込むことなく、設計データから得られる基準画像パターンと検査対象物のパターンとのカド部における差異を十分に小さくすることにより、欠陥誤認を防止する。【構成】 プリント配線板の設計データから作成された2値の設計画像データを補正回路で補正することにより、基準画像データを得る。補正回路は、丸め処理回路C1〜CNを縦列接続した構成となっており、各丸め処理回路は、設計画像パターンに所定のマスクパターンを適用することによりカド部を検出して丸みを付けるカド部補正オペレータ回路CCOと、その補正後の画像パターンを平滑化する3×3多数決フィルタ回路MFとから成る。このような補正回路によって得られた基準画像データは、プリント配線板の配線パターンを読み取って得られる2値画像データと比較され、プリント配線板の欠陥が検出される。
請求項（抜粋）：
オリジナルパターンが具現化された検査対象物のオブジェクトパターンを画素毎に読み取って得られる2値画像データにより表わされる検査対象パターンと、前記オリジナルパターンの設計データに基づいて生成された2値画像データにより表わされる基準画像パターンとを比較することにより、検査対象物の欠陥を検出する画像パターン検査装置において、a)前記オリジナルパターンを表わす2値の設計画像パターンを前記設計データから生成する設計画像データ生成手段と、b)予め設定された照合領域内でカド部を表わすマスクパターンと前記照合領域における設計画像パターンとを照合し、両者が一致するか否かを判定するカド部検出手段と、c)前記カド部検出手段による一致が判定された際に、前記照合領域における設計画像パターンの中心画素の値を反転させることにより、前記基準画像パターンを生成する画像データ補正手段と、を備えることを特徴とする画像パターン検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, H01L 21/66
, H05K 13/08
